6411000Darmstadt2022Q469986852245224524546440052680745310102417204811144063612914613850 6411000Darmstadt2023Q1670258152575257541273240635708441670203513709803523614088712517 6411000Darmstadt2023Q2622559592719271935063240515673444660159613479204233113726612184 6411000Darmstadt2023Q37323667029142914440937566456795387182053163411445692915665313993 6411000Darmstadt2023Q483047302313931395165416365172865681427261852110747525294100215606